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应用介绍

激光剥蚀ICP-MS元素面扫成像技术,是材料表面化学成分空间解析的强大工具。该技术通过激光束在样品表面进行快速、有序的逐点剥蚀,产生的气溶胶被ICP-MS实时检测,从而同步获得每个采样点的元素组成信息,最终绘制出高分辨率的元素二维分布图。与电子探针(EPMA)等技术相比,其优势在于更高的元素检测灵敏度(可达ppb级)和更宽的元素覆盖范围(从Li到U)。在材料科学领域,该技术能直观揭示多相材料中元素的偏析与扩散行为、涂层/镀层的均匀性与界面结合状况、失效件中裂纹与腐蚀产物的元素组成、以及半导体或电池材料中杂质元素的分布等关键信息,为理解材料性能、优化工艺、诊断失效根源提供不可或缺的化学图像证据。